技术文章
手持式四探针测试仪适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校
发布时间2017-08-03 浏览次数：1066
|
测量范围
|
电阻率：0.01～1999.9Ω.cm； 方块电阻：0.1～19999Ω/□； |
|
恒流源
|
电流量程分为100μA、1mA两档，两档电流连续可调 |
|
数字电压表
|
量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 输入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%； 显示：以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；性、超量程自动显示； |
|
四探针探头基本指标
|
间距：1±0.01mm； 针间缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
|
四探针探头应用参数
|
(见探头附带的合格证) |
|
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) |
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
|
整机测量大相对误差
|
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
|
整机测量标准不确定度
|
≤5% |
|
外型尺寸
|
185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高) |
|
重量
|
350g |
|
电源
|
锂电池，一次充电可连续使用100小时； |
|
标准使用环境
|
温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无高频干扰； 无强光直射 |