工业检测显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发的

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平场目镜

大视野WF10XΦ25mm

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平场分划目镜

WF10X/Φ20mm （0.1格值）

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无穷远平场长工作距离平场物镜

(放大倍数/数值孔径/工作距离)
PL5X/0.10/29.4、 PLL10X/0.25/16、PLL20X/0.40/10.6、PLL40X/0.60/5.4、PLL80X/0.75/4.0

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总放大倍数

50X-800X

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三目观察头：

30°倾斜

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物镜转换器：

五孔带DIC、明暗场插孔

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粗微调调焦范围：

30mm,粗微动同轴调焦, 微动格值0.002mm

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载物台：

双层移动平台 尺寸350x310mm  移动范围: 250x250mm 
玻璃平台：尺寸268×198mm    移动范围：250×250mm

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载物台移动：

具有快速手推功能，可实现快速到位

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偏光装置

检偏镜可360°转动，起偏镜、检偏镜均可移出光路

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DIC暗场装置

DIC、暗场插件均可移出光路

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落射照明：

亮度可调 卤钨灯泡 12V100W 落射照明器带视场光栏、孔径光栏

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仪器重量

净重35kg 毛重40kg

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仪器尺寸

仪器尺寸40x50X47（cm） 包装尺寸59X49X53 (cm)