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北京恒奥德仪器仪表有限公司
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射频磁控溅射镀膜装置可开设的实验
发布时间2015-05-25 浏览次数:804
射频磁控溅射镀膜装置可开设的实验:
1、掌握射频磁控溅射法制膜的基本原理;
2、了解磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围;
3、磁控溅射法制备金属膜、半导体膜、化合物膜、介质膜等薄膜