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射频磁控溅射镀膜装置可开设的实验

发布时间2015-05-25        浏览次数:804

 射频磁控溅射镀膜装置可开设的实验:

1、掌握射频磁控溅射法制膜的基本原理;

2、了解磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围;

3、磁控溅射法制备金属膜、半导体膜、化合物膜、介质膜等薄膜